3D 프로파일러

(S neox)

S neox 3D 프로파일러

(S neox 3D Profiler)

새로운 S neox 광학 프로파일로미터는 성능, 기능, 효율성 및 디자인 측면에서 기존의 광학 3D 프로파일링 현미경보다 뛰어나 Sensofar에 동급 최고의 면 측정 시스템을 제공합니다.

Sensofar S neox는 성능, 기능, 효율성 및 디자인 측면에서 기존 광학 3D 프로파일링 현미경을 능가하여 동급 최고의 면적 측정시스템을 제공합니다

S neox 디자인은 다양한 구성의 기술 표면의 미세 및 나노 기하 구조를 빠르고 비침습적으로 평가하는 데 이상적입니다. S neox는 R&D 및 품질 검사 실험실의 표준 설정부터 온라인 공정 제어를 위한 정교한 맞춤형 솔루션에 이르기까지 필요한 유연성, 내구성 및 효율성을 제공하며, 최대 300x300mm² 크기의 샘플과 최대 높이 350mm의 측정을 지원합니다. S neox 3D 광학 프로파일러는 완벽한 도구입니다.

그 어느 때보다 빠른 속도

새로운 스마트하고 고유한 알고리즘과 새로운 카메라로 모든 것이 이전보다 더 빨라졌습니다. 데이터 수집은 180fps로 이루어집니다. 표준 측정 데이터 수집은 이전보다 5배 더 빠릅니다. S neox 광학 프로파일로미터는 시중에서 가장 빠른 면 측정 시스템입니다.

사용하기 쉬운 시스템

Sensofar는 고객에게 최고의 경험을 제공하기 위해 끊임없이 노력하고 있습니다. 5세대 S neox 시스템은 사용하기 쉽고 직관적이며 빠른 속도를 제공하는 것을 목표로 합니다. 초보자라도 클릭 한 번으로 시스템을 관리할 수 있습니다. 사용자 요구 사항에 맞춰 시스템을 조정할 수 있도록 소프트웨어 모듈이 개발되었습니다.

품질 관리

모든 QC 절차를 원활하게 진행할 수 있도록 자동화된 모듈이 개발되었습니다. 운영자 접근 권한 관리, 레시피, 바코드/QR 리더 호환성, 그리고 당사 독점 소프트웨어인 SensoPRO의 맞춤형 플러그인을 통해 합격/불합격 보고서를 생성할 수 있습니다. 당사의 최적화된 솔루션은 유연성과 사용하기 쉬운 인터페이스를 통해 품질 관리 환경에서도 원활하게 작동하며, 24시간 연중무휴 작동하도록 프로그래밍할 수 있습니다. 표면 마감 측정이 그 어느 때보다 간편해졌습니다.

연구 개발

Sensofar의 여러 접근 방식을 통해 SensoSCAN에서 한 번의 클릭으로 시스템이 해당 작업에 가장 적합한 기술로 전환됩니다.

S neox 센서 헤드에 탑재된 세 가지 측정 기술(공초점, 간섭계, AI 초점 변화)은 각각 시스템의 다재다능함에 중요한 기여를 하며 데이터 수집 시 발생할 수 있는 불필요한 손상을 최소화하는 데 도움을 줍니다. S neox 광학 프로파일로미터는 모든 실험실 환경에 적합하며, 제약이 없습니다.

4-in-1 기술

능동 조명 초점 변화

능동 조명 초점 변화(Active illumination Focus Variation)는 광학 장치(매우 낮은 피사계 심도) 또는 샘플을 수직으로 스캔하여 표면의 연속적인 이미지 세트를 얻습니다. 알고리즘은 각 프레임에서 초점이 맞는 지점을 결정하고, 모든 프레임의 모든 초점이 맞는 지점을 사용하여 전체 이미지를 구성합니다. 능동 조명을 사용하여 광학적으로 매끄러운 표면에서도 더욱 안정적인 초점 위치를 확보할 수 있도록 개선되었습니다.

컨포컬

컨포컬 현미경에 포함된 이미징 기술은 대물렌즈의 공초점면에 조리개를 사용합니다. 따라서 초점이 맞지 않는 빛은 이미징 시스템으로 유입되지 않고, 샘플의 초점이 맞는 면만 포착됩니다. 조리개를 기계적으로 또는 디지털 방식으로 스캐닝하여 2D 프로파일과 3D 표면 이미지를 포착할 수 있습니다.

간섭계

광 간섭법은 간섭계의 두 가지 팔(기준광과 시료광)에서 반사되는 빛의 광학 경로 차이를 이용하여 시료 표면 지형에 대한 정보를 포함하는 공간 간섭 패턴(간섭무늬)을 생성합니다. 특정 응용 분야에 따라 다양한 변형된 접근 방식을 사용할 수 있습니다.

박막

박막 측정 기술은 광학적으로 투명한 층의 두께를 빠르고 정확하며 비파괴적으로 측정하며, 시료 전처리가 필요하지 않습니다. 프로파일로미터는 가시광선 영역에서 시료의 반사 스펙트럼을 수집하고, 소프트웨어로 계산된 시뮬레이션 스펙트럼과 비교하며, 최적의 두께를 찾을 때까지 층 두께를 조정합니다. 50nm에서 1.5μm까지의 투명 필름을 1초 이내에 측정할 수 있습니다. 시료 평가 스팟 직경은 대물렌즈 배율에 따라 달라지며, 최소 0.5μm에서 최대 40μm까지 가능합니다.

LED를 이용한 성능 향상

레이저에 비해 LED를 사용하면 엄청난 이점을 얻을 수 있습니다. LED는 레이저 광원에서 흔히 발생하는 간섭 패턴과 산란을 방지합니다. 또한, 단일 지점이 아닌 특정 영역을 비추므로 측정 속도가 더 빠릅니다. LED의 예상 수명은 약 50,000시간으로, 레이저보다 25배 더 깁니다. 마지막으로, LED는 시료 요구 사항에 따라 다양한 파장을 사용할 수 있어 다재다능합니다.

시스템 검증 패키지

모든 S neox는 정확하고 추적 가능한 측정값을 제공하도록 제조됩니다. 시스템은 ISO 25178 표준 Part 700 및 Part 600에 따라 추적 가능한 표준을 사용하여 교정됩니다. Z 증폭 계수, XY 측면 치수, 평탄도 편차, 시스템 노이즈, 동심도 및 동초점도에 대한 표준이 적용됩니다. 모든 계측 기기는 결과를 제공하기 전에 이 표준을 충족해야 합니다.

모든 S neox는 추적 가능한 교정 표준을 사용하여 계측 특성을 추정하고, 체계적인 오차를 보정하도록 조정되며, 교정된 값과 일치하는지 검증됩니다. 마지막으로 성능 사양을 점검하고, 정확도 및 반복성과 같은 계측기 특성을 시스템과 함께 제공합니다.

고해상도

수직 분해능은 간섭계의 경우 고정된 계측기 노이즈에 의해 제한되지만, 공초점 방식의 경우 개구수에 따라 달라집니다. Sensofar의 독점 알고리즘은 광학 계측기에서 가능한 가장 높은 수평 분해능으로 모든 측정 기법에 대해 나노미터 수준의 시스템 노이즈를 제공합니다.

표시된 지형은 서브나노미터(0.3nm) 원자층입니다. PTB 제공.

DIC 관찰

미분 간섭 대비(DIC)는 일반적인 관찰에서는 대비가 없는 매우 작은 높이의 특징을 강조하는 데 사용됩니다. 노말스키 프리즘을 사용하면 명시야 또는 공초점 이미지에서는 볼 수 없는 나노미터 미만의 미세 구조를 분해하여 간섭 이미지를 생성합니다.

연속 공초점

공초점 측정 기술의 혁신적인 단계로 획득 시간을 꾸준히 3배로 단축합니다. 연속 공초점 모드는 평면 내 및 Z축을 동시에 스캔하여 기존 공초점의 개별(및 시간 소모적) 평면 별 획득을 방지합니다. 넓은 영역 스캔 및 대규모 Z 스캔의 획득 시간을 줄이는 데 필수적입니다.

HDR

높은 다이내믹 레인지(High Dynamic Range)는 반사율이 높은 표면의 반사 및 데이터 수집 불가능 지점을 완화합니다.

스마트 노이즈 감지

S neox는 감지 알고리즘(SND)을 사용하여 데이터가 신뢰할 수 없는 픽셀을 감지합니다. 공간 평균화를 사용하는 다른 기술과 비교하여 S neox는 측면 해상도를 손상시키지 않고 픽셀 단위로 이 프로세스를 수행합니다.

다중 스펙트럼 파장 LED

각 애플리케이션에 맞게 광원을 최적화하는 데 중점을 둔 S neox는 광학 코어 내부에 빨간색(630nm), 녹색(530nm), 파란색(460nm) 및 흰색의 4가지 LED 광원을 갖추고 있습니다. 가장 높은 측면 분해능이 필요한 응용 분야에는 더 짧은 파장이 사용됩니다. 파장이 길수록 최대 20μm까지 더 큰 광학 일관성을 제공하므로 넓은 면적의 매끄러운 표면에서 위상 편이 간섭계 (PSI)가 가능해집니다. 또한 빨간색, 녹색 및 파란색 LED가 펄스되어 실제 컬러 이미지와 고대비 색상으로 구분된 깊이 정보를 실시간으로 획득합니다.

높은 측정 경사

현미경 대물렌즈의 NA(개구수)는 광학적으로 매끄러운 표면에서 측정 가능한 최대 경사를 제한하는 반면, 광학적으로 거칠거나 산란되는 표면은 해당 한계를 넘어서는 신호를 제공합니다. Sensofar 알고리즘은 매끄러운 표면(0.95 NA)에서 최대 71°, 거친 샘플에서 최대 86°를 측정하도록 설계되었습니다.

움직이는 부품이 없습니다

Sensofar 시스템에 구현된 공초점 스캐닝 기술은 마이크로디스플레이 스캔 컨포컬 현미경(ISO 25178-607)입니다. 마이크로디스플레이는 움직이는 부품 없이 빠르게 전환되는 장치를 만들어 데이터를 빠르고 안정적이며 정확하게 수집합니다. 이와 관련된 알고리즘으로 인해 Sensofar의 컨포컬 기술은 다른 공초점 접근 방식보다 우수하고 레이저 스캐닝 컨포컬 시스템보다 훨씬 뛰어난 동급 최고의 수직 해상도를 제공합니다.

전동 노즈피스

전동식 노즈피스는 명시야 및 간섭계 대물렌즈를 포함하여 최대 6개의 대물렌즈를 동시에 수용할 수 있습니다. SensoSCAN 소프트웨어는 전동식 변경을 자동으로 처리하고 가능한 동초점 조정을 자동으로 수정합니다.

전동 팁-틸트

전동 팁-틸트는 3초 이내에 자동으로 시료의 수평을 맞추도록 설계되었습니다. 이 장치는 시료 준비 시간을 줄이고 자동화된 어플리케이션을 위해 여러 위치에서 시료 레벨링을 허용합니다. 자동 기울기 기능은 모든 이미징 기술에 사용할 수 있습니다.

스탠드 구조

S neox는 완벽한 도구입니다. 이 설계는 다양한 구성에서 기술 표면의 미세 및 나노 기하학을 빠르고 비침습적으로 평가하는 데 이상적입니다. S neox는 R&D 및 품질 검사 실험실을 위한 표준 설정에서 온라인 프로세스 제어를 위한 정교하고 맞춤형 솔루션에 이르기까지 필요한 유연성, 내구성 및 효율성을 제공하며, 최대 300x300mm2의 샘플과 최대 높이 350mm까지 측정합니다.

링 라이트

링 라이트는 균일하고 효율적인 방식으로 샘플을 조명하기 위한 LED 링을 기반으로 합니다. 대물렌즈 위와 주변에 장착된 링 라이트는 Ai Focus Variation 기술에 대한 신호를 증가시킵니다. 이를 통해 초점 평면에서 적절한 조명이 보장됩니다.

인서트 홀더

인서트 홀더는 절삭 공구를 측정에 필요한 정확한 위치에 고정할 수 있도록 설계된 옵션 액세서리입니다. 현재 시중에 판매되는 모든 인서트 모델과 호환됩니다.

SensoSCAN

소프트웨어는 명확하고 직관적인 사용자 친화적인 인터페이스를 통해 시스템을 구동합니다. 사용자는 3D 환경을 통해 안내를 받으며, 특별한 사용자 경험을 제공합니다.

샘플 탐색

개요 도구는 사용자가 측정 준비 중에 샘플을 검사하고, 측정 전 측정 위치를 확인하고, 자동화 절차를 지원하는 데 도움이 됩니다. 고배율로 작업할 때, 매 순간 현재 위치를 파악할 수 있으므로 작업이 더 쉬워집니다.

자동 3D 기능

3D 자동 기능을 선택하면 SensoSCAN 소프트웨어가 자동으로 정확한 조도와 적절한 측정 범위를 결정하고, 선택한 측정 유형을 실행합니다. 따라서 단 몇 초 만에 고품질 결과를 얻을 수 있습니다.

분석 및 보고

반복 측정에 미리 설정된 필터 및 연산자 구성을 적용하는 분석 템플릿을 생성할 수도 있습니다.

마지막으로, 각 측정에 대해 3D 데이터, 2D 프로파일 및 모든 ISO 매개변수를 보여주는 명확하고 체계적인 보고서를 얻을 수 있습니다.

자동화된 절차 모듈

자동화된 절차 모듈은 품질 관리 절차를 생성하기 위한 사용자 정의가 용이한 도구입니다. 여러 측정 레시피를 생성하고 실행하는 것은 시스템에 미리 정의된 위치에서 여러 측정을 수행하도록 명령하는 레시피 도구를 사용하여 수행됩니다. 이 모듈은 사용자 관리자, 샘플 식별, 데이터 내보내기, '합격/불합격' 허용 오차 비교 등의 도구와 결합하여 품질 관리 검사에 필요한 모든 기능을 제공합니다.

샘플 배열 준비 완료

S neox는 정의된 다중 측정 레시피를 여러 샘플에 복제할 수 있는 새로운 기능을 도입했습니다. 따라서 각 샘플의 기준점을 기준으로 각 샘플에서 다중 측정이 반복됩니다. 레시피가 한 번만 정의되므로 레시피 프로그래밍이 간소화되고 신뢰성이 향상됩니다. 이를 통해 24시간 품질 관리(QC)를 수행하는 고객의 오랜 요구사항을 해결할 수 있습니다.

자동 참조 인식

S neox는 이제 패턴 매칭 알고리즘을 기반으로 기준점 자동 감지 기능을 탑재하여 사람의 개입 없이 완전 자동화된 작업을 가능하게 합니다. 이전에는 어렵고 부정확했던 작업이 이제 쉽고 반복적이며 정확해집니다. 이러한 기준점 인식과 자동화된 루틴의 결합은 인더스트리 4.0을 향한 한 걸음입니다.

확장된 측정 모듈

SensoSCAN의 확장된 측정 모듈을 사용하면 개요 이미지를 통해 표면의 측정 레이아웃을 쉽게 정의할 수 있습니다. 측정 영역은 직사각형, 원형 또는 링 형태의 관심 영역으로 자동 자를 수 있습니다. 최대 5억 픽셀의 넓은 영역이 가능합니다. 각 필드의 자동 초점, 수직 스캐닝 범위를 최소화하기 위한 초점 추적 등 다양한 스캐닝 전략을 사용할 수 있습니다.

SensoVIEW는 광범위한 분석 작업에 이상적인 소프트웨어입니다. 3D 또는 2D 측정값의 예비 검사 및 분석을 위한 포괄적인 도구 모음을 포함하고 있어 거칠기 또는 체적 계산과 주요 치수(각도, 거리, 직경) 측정이 가능합니다.

생산 라인에서 신속한 품질 관리를 수행하는 것이 그 어느 때보다 쉬워졌습니다. SensoPRO 덕분에 생산 라인 작업자는 샘플을 로드하고 안내에 따라 합격/불합격 보고서를 받기만 하면 됩니다. 플러그인 기반 데이터 분석 알고리즘은 높은 수준의 유연성을 제공하며, 새로운 모듈은 다른 업계의 요구에 맞춰 쉽게 맞춤 설정할 수 있습니다.

Digital Surf의 Mountains 기술을 기반으로 하는 SensoMAP은 분석 및 보고를 위한 매우 강력한 도구입니다. SensoMAP 소프트웨어는 고객 요구 사항에 맞춰 완벽하게 모듈화되어 있습니다. 두 가지 레벨(표준 및 프리미엄)과 여러 모듈을 사용할 수 있습니다.

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