DM8000 M & DM12000 M 검사 현미경

 (이미지에서 오염을 명확하게 볼 수 있는 다양한 조명 및 대비 방법으로 촬영한 웨이퍼 표면의 이미지)

시료에서 스크래치 및 오염과 같은 다양한 구조와 결함을 검출하고 분석합니다. 명시야, 암시야, 편광, 차동 간섭 대비(DIC), 형광(Fluo) 및 적외선(IR)과 같은 다양한 조명 및 대비 방법 중에서 선택하여 검사를 빠르고 안정적으로 수행할 수 있습니다. 자외선(UV) 광선으로 해상도를 높입니다.

경사광으로 표면에서 추가 정보를 얻습니다. UV와 결합하여 대비를 더욱 향상합니다.

Plan Fluotar 대물렌즈(20x, 50x 및 100x)를 사용한 고급 암시야 기법에 기반한 고대비를 사용하여 파단 분석 시 결함을 더 빠르게 찾을 수 있습니다.

(패턴화된 웨이퍼의 명시야 이미지)

0.7x 매크로 대물렌즈(옵션)를 사용하여 재료 시료의 거시적 결함과 구조를 신속하게 파악할 수 있습니다. 매크로 대물렌즈는 빠른 방향 확정과 효율적인 스크리닝을 위해 약 36mm의 시야각을 제공하여 시간을 절약합니다.

높이가 42mm 이상으로 긴 시료를 검사하는 경우에는 현미경에 "재료" 반사광 모듈을 선택 할 수 있습니다. 이 축을 사용할 때 높이가 낮은 샘플을 검사하려면 스테이지 인서트가 필요합니다.

(작업자가 대물렌즈를 변경할 때 손을 사용하지 않아도 되므로 오염으로부터 시료를 한층 더 보호할 수 있습니다.)

검사 및 품질 관리 중에 자동 설정 조정 및 직관적인 초점 조작으로 시간을 절약하고 오류를 줄일 수 있습니다. 버튼을 누르면 대물렌즈가 변경되고 조명과 대비 설정이 자동으로 조정됩니다.

전동식 노즈피스는 빠르고 편안하게 대물렌즈를 변경할 수 있어 불필요한 움직임을 줄여 시간과 노력을 절약할 수 있습니다. 작업자가 수동으로 대물렌즈를 변경하지 않아도 되므로 오염으로부터 시료를 한층 더 보호할 수 있습니다.

또한 150x VIS-UV 대물렌즈를 사용하면 대물렌즈를 변경하지 않고도 모든 대비 방법을 활용할 수 있습니다.

 (전동식 스테이지가 FOV를 중앙으로 유지하므로 배율을 변경할 때 관심 영역을 다시 중앙에 옮길 필요가 없습니다.)

쉽고 직관적인 초점 기능을 통해 시료를 빠르고 확실하게 검사할 수 있습니다.

• 베어 웨이퍼와 같이 반사율이 높은 표면을 가진 샘플의 경우 초점 파인더를 사용하여 쉽고 빠르게 초점을 맞춥니다.

• 높이가 다양한 샘플의 경우에는 세로 길이가 긴 내장형 초점 스톱을 사용하여 실수로 인한 손상으로부터 보호합니다.

• 파포컬 대물렌즈 덕분에 초점을 다시 조정할 필요 없이 배율을 쉽게 전환할 수 있습니다.

(가변 관측각에서는 최적화된 시야각을 얻을 수 있으며 하루에도 여러 번 작업 위치를 쉽게 변경할 수 있습니다.)

DM8000 M 및 DM12000 M 현미경의 인체공학적 설계와 자동 기능을 통해 피로감 없이 작동할 수 있으므로 반복 검사 시 시료에 집중할 수 있습니다.

개인별로 조절 가능한 인체공학적 튜브와 높이 조절식 초점 손잡이를 통해 정기 검사 및 기타 작업 시 워크스테이션을 최적으로 편안하게 맞출 수 있습니다.

(DM8000 M 및 DM12000 M은 표면 저항성이 높은 전도성 소재로 제작되어 정전기로 인한 손상으로부터 민감한 제품을 보호합니다.)

DM8000 M 및 DM12000 M은 미션 크리티컬 구성품을 검사해야 할 때 클린룸에서 사용할 수 있습니다.

• 표면 저항력이 있는 전도성 물질이 정전기 방전으로부터 제품을 보호합니다.

• 캡슐형 전동식 노즈피스는 까다로운 환경 조건에 맞게 설계되었습니다.

• 가시광선 및 UV 광선을 위한 내장형 LED 조명이 오염의 위험을 줄여줍니다.

클린룸에서는 현미경 설계가 주변 공기 흐름을 최적화하여 층류를 방해하지 않도록 합니다.